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3銆 鐢靛瓙姘斾綋銆(Elect ron ic gases) 錛氬崐瀵間綋宸ヤ笟鐢ㄧ殑姘斾綋緇熺О鐢靛瓙姘斾綋銆傛寜鍏墮棬綾誨彲鍒嗕負綰姘斻侀珮綰姘斿拰鍗婂間綋鐗規畩鏉愭枡姘斾綋涓夊ぇ綾匯傜壒孌婃潗鏂欐皵浣撲富瑕佺敤浜庡栧歡銆佹幒鏉傚拰鋩鍒誨伐鑹猴紱楂樼函姘斾綋涓昏佺敤浣滅█閲婃皵鍜岃繍杞芥皵銆傜數瀛愭皵浣撴槸鐗圭嶆皵浣撶殑涓涓閲嶈佸垎鏀銆傜數瀛愭皵浣撴寜綰搴︾瓑綰у拰浣跨敤鍦哄悎錛屽彲鍒嗕負鐢靛瓙綰с丩 S I (澶ц勬ā闆嗘垚鐢佃礬) 綰с乂L S I (瓚呭ぇ瑙勬ā闆嗘垚鐢佃礬) 綰у拰UL S I (鐗瑰ぇ瑙勬ā闆嗘垚鐢佃礬)綰с
4. 澶栧歡姘斾綋銆(Cp itax ial gases) 錛氬湪浠旂粏閫夋嫨鐨勮‖搴曚笂閲囩敤鍖栧︽皵鐩告穩縐(CVD) 鐨勬柟娉曠敓闀誇竴灞傛垨澶氬眰鏉愭枡鎵鐢ㄦ皵浣撶О涓哄栧歡姘斾綋銆傜呭栧歡姘斾綋鏈4 縐, 鍗崇呯兎銆佷簩姘浜屾阿紜呫佷笁姘姘㈢呭拰鍥涙隘鍖栫, 涓昏佺敤浜庡栧歡紜呮穩縐, 澶氭櫠紜呮穩縐, 娣縐姘у寲紜呰啘, 娣縐姘鍖栫呰啘, 澶闃崇數奼犲拰鍏朵粬鍏夋劅鍙楀櫒鐨勯潪鏅剁呰啘娣縐銆傚栧歡鐢熼暱鏄涓縐嶅崟 鏅舵潗鏂欐穩縐騫剁敓闀垮湪琛搴曡〃闈涓婄殑榪囩▼銆傛ゅ栧歡灞傜殑鐢甸樆鐜囧線寰涓庤‖搴曚笉鍚屻
5. 鋩鍒繪皵浣撱(Etch ing gases) 錛氳殌鍒誨氨鏄鎶婂熀鐗囦笂鏃犲厜鍒昏兌鎺╄斀鐨勫姞宸ヨ〃闈㈠傛哀鍖栫呰啘銆侀噾灞炶啘絳夎殌鍒繪帀, 鑰屼嬌鏈夊厜鍒昏兌鎺╄斀鐨勫尯鍩熶繚瀛樹笅鏉, 榪欐牱渚垮湪鍩虹墖琛ㄩ潰寰楀埌鎵闇瑕佺殑鎴愬儚鍥懼艦銆傝殌鍒葷殑鍩烘湰瑕佹眰鏄, 鍥懼艦杈圭紭鏁撮綈, 綰挎潯娓呮櫚, 鍥懼艦鍙樻崲宸灝, 涓斿瑰厜鍒昏兌鑶滃強鍏舵帺钄戒繚鎶ょ殑琛ㄩ潰鏃犳崯浼ゅ拰閽昏殌銆傝殌鍒繪柟寮忔湁婀挎硶鍖栧﹁殌鍒誨拰騫叉硶鍖栧﹁殌鍒匯傚共娉曡殌鍒繪墍鐢ㄦ皵浣撶О鋩鍒繪皵浣, 閫氬父澶氫負姘熷寲鐗╂皵浣, 渚嬪傚洓姘熷寲紕熾佷笁姘熷寲姘銆佸叚姘熶箼鐑楓佸叏姘熶笝鐑楓佷笁姘熺敳鐑風瓑銆傚共娉曡殌鍒葷敱浜庤殌鍒繪柟鍚戞у己銆佸伐鑹烘帶鍒剁簿紜銆佹柟渚褲佹棤鑴辮兌鐜拌薄銆佹棤鍩虹墖鎹熶激鍜屾簿奼, 鎵浠ュ叾搴旂敤鑼冨洿鏃ョ泭騫挎硾銆
6. 鎺烘潅姘斾綋(Dopant Gases)錛氬湪鍗婂間綋鍣ㄤ歡鍜岄泦鎴愮數璺鍒墮犱腑, 灝嗘煇縐嶆垨鏌愪簺鏉傝川鎺哄叆鍗婂間綋鏉愭枡鍐, 浠ヤ嬌鏉愭枡鍏鋒湁鎵闇瑕佺殑瀵肩數綾誨瀷鍜屼竴瀹氱殑鐢甸樆鐜, 鐢ㄦ潵鍒墮PN緇銆佺數闃匯佸煁灞傜瓑銆傛幒鏉傚伐鑹烘墍鐢ㄧ殑姘斾綋鎺烘潅婧愯縐頒負鎺烘潅姘斾綋銆備富瑕佸寘鎷鐮風兎銆佺７鐑楓佷笁姘熷寲紓楓佷簲姘熷寲紓楓佷笁姘熷寲鐮楓佷簲姘熷寲鐮楓佷笁姘鍖栫〖鍜屼箼紜肩兎絳夈傞氬父灝嗘幒鏉傛簮涓庤繍杞芥皵浣(濡傛癌姘斿拰姘姘) 鍦ㄦ簮鏌滀腑娣峰悎, 娣峰悎鍚庢皵嫻佽繛緇嫻佸叆鎵╂暎鐐夊唴鐜緇曟櫠鐗囧洓鍛, 鍦ㄦ櫠鐗囪〃闈㈡矇縐涓婂寲鍚堢墿鎺烘潅鍓, 榪涜屼笌紜呭弽搴旂敓鎴愭幒鏉傞噾灞炶屽緳鍔ㄨ繘鍏ョ呫
7. 鐔忚捀姘斾綋(Sterilizing Gases) 錛氬叿鏈夋潃鑿屼綔鐢ㄧ殑姘斾綋縐扮啅钂告皵浣撱傚父鐢ㄧ殑姘斾綋鍝佺嶆湁鐜姘т箼鐑銆佺７鐑楓佹捍鐢茬兎銆佹捍鐢查啗銆佺幆姘т笝鐑風瓑銆傚叾鐏鑿屽師鐞嗘槸鍒╃敤鐑峰寲浣滅敤, 浣垮井鐢熺墿緇勭粐鍐呯淮鎸佺敓鍛戒笉鍙緙哄皯鐨勭墿璐ㄦ儼鍖栥傛渶緇忓父浣跨敤鐨勬槸浠ヤ笉鍚屾瘮渚嬮厤鍒剁殑鐜姘т箼鐑峰拰浜屾哀鍖栫⒊鐨勬販鍚堟皵, 鏍規嵁鐢ㄩ斾笉鍚, 鐜姘т箼鐑風殑鍚閲忓彲浠ユ槸10 %銆20 %鍜30 %絳夈備篃鍙閲囩敤鐜姘т箼鐑峰拰姘熷埄鏄12 鐨勬販鍚堟皵,鐜姘т箼鐑蜂笌姘熷埄鏄11 鍜屾盁鍒╂槀12 鐨勬販鍚堟皵絳夈傛潃鑿屾晥鏋滀笌鍚勭粍鍒嗘祿搴︺佹俯搴︺佹箍搴︺佹椂闂村拰鍘嬪姏絳夊洜緔犳湁鍏熾傜啅钂告皵浣撳彲浠ョ敤浜庡崼鐢熸潗鏂欍佸尰鐤楀櫒鍏楓佸寲濡嗗搧鍘熸枡銆佸姩鐗╅ゲ鏂欍佺伯椋熴佺焊閽炪侀欒荊
8. 鐒婃帴淇濇姢姘斾綋(Welding Gases)錛氭皵浣撲繚鎶ょ剨鐢變簬鍏鋒湁鐒婃帴璐ㄩ噺濂, 鏁堢巼楂, 鏄撳疄鐜拌嚜鍔ㄥ寲絳変紭鐐硅屽緱浠ヨ繀閫熷彂灞曘傜剨鎺ヤ繚鎶ゆ皵浣撳彲浠ユ槸鍗曞厓姘斾綋, 涔熸湁浜屽厓銆佷笁鍏冩販鍚堟皵銆傞噰鐢ㄧ剨鎺ヤ繚鎶ゆ皵鐨勭洰鐨勫湪浜庢彁楂樼剨緙濊川閲, 鍑忓皯鐒婄紳鍔犵儹浣滅敤甯﹀藉害, 閬垮厤鏉愯川姘у寲銆傚崟鍏冩皵浣撴湁姘╂皵銆佷簩姘у寲紕, 浜屽厓娣峰悎姘旀湁姘╁拰姘, 姘╁拰浜屾哀鍖栫⒊, 姘╁拰姘, 姘╁拰姘㈡販鍚堟皵銆備笁鍏冩販鍚堟皵鏈夋唉銆佹癌銆佷簩姘у寲紕蟲販鍚堟皵銆傚簲鐢ㄤ腑瑙嗙剨鏉愪笉鍚岄夋嫨涓嶅悓閰嶆瘮鐨勭剨鎺ユ販鍚堟皵銆
9. 紱誨瓙娉ㄥ叆姘( Gases for Ion Implantation)錛氱誨瓙娉ㄥ叆鏄鎶婄誨瓙鍖栫殑鏉傝川, 渚嬪侾 + 銆丅 + 銆丄s+鍔犻熷埌楂樿兘閲忕姸鎬,鐒跺悗娉ㄥ叆鍒伴勫畾鐨勮‖搴曚笂銆傜誨瓙娉ㄥ叆鎶鏈鍦ㄦ帶鍒禫 th(闃堝肩數鍘) 鏂歸潰搴旂敤寰楁渶涓哄箍娉涖傛敞鍏ョ殑鏉傝川閲忓彲閫氳繃嫻嬮噺紱誨瓙鏉熺數嫻佽屾眰寰椼傜誨瓙娉ㄥ叆宸ヨ壓鎵鐢ㄦ皵浣撶О紱誨瓙娉ㄥ叆姘, 鏈夌７緋匯佺〖緋誨拰鐮風郴姘斾綋銆
10. 闈炴恫鍖栨皵浣(Nonliquefied Gases)錛氬帇緙╂皵浣撲緷鎹浜庝竴瀹氬帇鍔涘拰娓╁害涓嬪湪姘旂摱涓鐨勭墿鐞嗙姸鎬佸拰娌哥偣鑼冨洿鍙浠ュ尯鍒嗕負涓ゅぇ綾, 鍗蟲恫鍖栨皵浣撳拰闈炴恫鍖栨皵浣撱傞潪娑插寲姘斾綋緋繪寚闄ゆ憾瑙ｅ湪婧舵恫涓鐨勬皵浣撲箣澶, 鍦2111 鈩冨拰緗愯呭帇鍔涗笅瀹屽叏鏄姘旀佺殑姘斾綋銆備篃鍙瀹氫箟涓哄湪姝ｅ父鍦伴潰娓╁害鍜13789鍀17237kPa 鍘嬪姏涓嬩笉娑插寲鐨勬皵浣撱
11. 娑插寲姘斾綋( Liquefied Gases )錛氬湪2111 鈩冨拰緗愯呭帇鍔涗笅閮ㄥ垎娑插寲鐨勬皵浣撱傛垨瀹氫箟涓哄湪姝ｅ父娓╁害鍜172142鍀17237kPa 鍘嬪姏涓嬪湪姘旂摱涓娑插寲鐨勬皵浣撱傚帇緙╂皵浣(Compressed Gases) 銆鍘嬬緝姘斾綋鏄鎸囧湪2111 鈩冧笅, 鍦ㄦ皵鐡朵腑緇濆瑰帇鍔涜秴榪27518kPa 鐨勪換浣曟皵浣撴垨娣峰悎鐗; 鎴栦笌2111 鈩冧笅鐨勫帇鍔涙棤鍏, 浜5414 鈩冧笅緇濆瑰帇鍔涜秴榪717kPa 鐨勪換浣曟皵浣撴垨娣峰悎鐗; 鎴栦簬3718 鈩冧笅姘斾綋緇濆瑰帇鍔涜秴27518kPa 鐨勪換浣曟恫浣撱
12. 紼鏈夋皵浣(Rare Gases)錛氬厓緔犲懆鏈熻〃鏈鍚庝竴鏃忕殑鍏縐嶆儼鎬ф皵浣撲腑鐨勪換浣曚竴縐嶆皵浣, 鍗蟲唉銆佹皷銆佹癌銆佹藹銆佹皺銆佹啊銆傚墠浜旂嶆皵浣撳潎鍙浠ョ┖姘斿垎紱繪柟娉曚粠絀烘皵涓鎻愬彇銆
13. 浣庡帇娑插寲姘斾綋(Low P ressu re L iquef ied Gases) 錛氫復鐣屾俯搴﹀ぇ浜70鈩冪殑姘斾綋銆傚尯鍒嗕負涓嶇噧鏃犳瘨鍜屼笉鐕冩湁姣掋侀吀鎬ц厫鋩鎬ф皵浣; 鍙鐕冩棤姣掑拰鍙鐕冩湁姣掋侀吀鎬ц厫鋩鎬ф皵浣; 鏄撳垎瑙ｆ垨鑱氬悎鐨勫彲鐕冩皵浣撱傛ょ被姘斾綋鍦ㄥ厖瑁呮椂浠ュ強鍦ㄥ厑璁哥殑宸ヤ綔娓╁害涓嬭串榪愬拰浣跨敤榪囩▼涓鍧囦負娑叉併傚寘鎷鐨勬皵浣撳搧縐嶆湁涓姘熶簩姘鐢茬兎銆佷簩姘熸隘鐢茬兎銆佷簩姘熶簩姘鐢茬兎銆佷簩姘熸捍姘鐢茬兎銆佷笁姘熸隘涔欑兎銆佸洓姘熶簩姘涔欑兎銆佷簲姘熸隘涔欑兎銆佸叓姘熺幆涓佺兎銆佸叚姘熶笝鐑銆佹隘銆佷笁姘鍖栫〖銆佸厜姘斻佹盁鍖栨阿銆佹捍鍖栨阿銆佷簩姘у寲紜銆佺～閰版盁銆佷簩姘у寲姘銆佹恫鍘嬬煶娌規皵銆佷笝鐑楓佺幆涓欑兎銆佷笝鐑銆佹ｄ竵鐑楓佸紓涓佺兎銆1- 涓佺儻銆佸紓涓佺儻銆侀『- 2-涓佺儻銆佸弽- 2- 涓佺儻銆丷142b銆丷 143a銆丷152a銆佹隘涔欑兎銆佷簩鐢查啔銆佹皚銆佷箼鑳恆佷竴鐢茶兒銆佷簩鐢茶兒銆佷笁鐢茶兒銆佺敳紜閱囥佺～鍖栨阿銆佹隘鐢茬兎銆佹捍鐢茬兎銆佺牱鐑楓1, 3鈥斾竵浜岀儻銆佹隘涔欑儻銆佺幆姘т箼鐑楓佷箼鐑鍩虹敳閱氥佹捍涔欑儻銆
14. 楂樺帇娑插寲姘斾綋(H igh P ressu re L iquef iedGases) 錛氫復鐣屾俯搴﹀ぇ浜庢垨絳変簬- 10鈩冧笖灝忎簬鎴栫瓑浜70鈩冪殑姘斾綋銆傚尯鍒嗕負涓嶇噧鏃犳瘨鍜屼笉鐕冩湁姣掓皵浣; 鍙鐕冩棤姣掑拰鑷鐕冩湁姣掓皵浣; 鏄撳垎瑙ｆ垨鑱氬悎鐨勫彲鐕冩皵浣撱傛ょ被姘斾綋鍏呰呮椂涓烘恫鎬,浣嗗湪鍏佽哥殑宸ヤ綔娓╁害涓嬭串榪愬拰浣跨敤榪囩▼涓鍏惰捀奼藉帇闅忔俯搴︾殑鍗囬珮鑰屽崌楂, 瓚呰繃涓寸晫娓╁害鏃惰捀鍙戜負姘斾綋銆傛墍鍖呮嫭鐨勬皵浣撳搧縐嶆湁涓姘у寲浜屾愛銆佷簩姘у寲紕熾佷笁姘熺敳鐑楓佷笁姘熸隘鐢茬兎銆佷笁姘熸捍鐢茬兎銆佸叚姘熶箼鐑楓佸叚姘熷寲紜銆佹皺銆佹隘鍖栨阿銆佷箼鐑楓佷箼鐑銆1, 1- 浜屾盁涔欑儻銆佺呯兎銆佺７鐑楓佹盁涔欑儻銆佷箼紜肩兎銆